Tuta工具优势和特色

Tuta工具是一套针对RCX Runset进行QA的图形化验证工具，它的主要功能是：

• RCX Runset精度分析
• RCX Runset优化

RCX Runset 精度分析功能是：

• 自动生成beol和meol的test pattern；其中meol的pattern可自动加pin,自动加bulk，自动Lock Color，实现全自动版图生成 （TutaPattern)；
• 自动运行主流工具的寄生参数提取，并对大批量数据通过并行提取加速。（Tuta Run)；
• 自动比较大批量寄生参数提取网表结果文件，并分析精度，给出统计结果（TutaCmp)；

RCX Runset 优化功能是：

• 自动检查主流工具的原始process输入的数据是否一致；
• 自动分析不同工具误差形成的原因，给出工艺厚度参数和距离参数变化引起寄生参数不一致的图示； （Full Parameter QA )；
• 自动修改工艺厚度和距离参数使得不同寄生参数提取工具的寄生参数提取结果一致；

Tuta工具的最主要优势是：

• 自动化程度高，用户输入参数很少即可实现全自动验证
• 支持FINFET, Double Pattern等先进工艺验证，支持14nm, 10nm, 7nm工艺验证。
• 采用并行处理技术，验证效率高。
• 生成excel表格、统计柱状图等多种报告文件，方便用户分析查看结果。